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申请/专利权人：江阴福昭精密涂布设备有限公司
摘要：本实用新型涉及的一种高精密托举平板的涂布平台底板装置，它包括上下平行设置的导柱板和涂布平台底板，所述导柱板上设有阵列布置的支柱管，所述涂布平台底板和导柱板之间均匀布置有至少两个千分尺精密调整平台，所述千分尺精密调整平台上设有基准球，所述基准球设置在导柱板22的上方，基准球用于托举支撑吸附台，千分尺精密调整平台用于调整基准球，达到吸附台的高度平稳；支柱管阵列的上方放置待涂布平板。本实用新型最大程度消除平板升降产生的误差，实现高精度高效率平板涂布，大大提高了整机运行的稳定性和一致性，有利于本实用新型的涂布系统的高效自动化以及量产化。
主权项：1.一种高精密托举平板的涂布平台底板装置，其特征在于：它包括上下平行设置的导柱板（22）和涂布平台底板（21），所述导柱板（22）上设有阵列布置的支柱管（25），所述涂布平台底板（21）的底面中心设有托举气缸（26），所述托举气缸（26）的输出端连接导柱板（22）的中心处，并通过气缸限位板（27）连接，所述气缸限位板（27）设置在导柱板（22）的上表面中心处，所述气缸限位板（27）通过限位板支柱（28）连接涂布平台底板（21）；所述涂布平台底板（21）上设有多个均布的导柱（23），所述导柱（23）上设有直线轴承（24），所述直线轴承（24）与导柱板（22）连接，通过托举电机驱动直线轴承沿导柱（23）带动导柱板（22）上下移动；所述涂布平台底板（21）和导柱板（22）之间均匀布置有至少两个千分尺精密调整平台（29），所述千分尺精密调整平台（29）上设有基准球（210），所述基准球（210）设置在导柱板（22）的上方，基准球（210）用于托举支撑吸附台，千分尺精密调整平台（29）用于调整基准球（210），支柱管阵列的上方放置待涂布平板。
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权利要求：
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