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一种硅片用测试平台 

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申请/专利权人:青岛金汇源电子有限公司

摘要:本实用新型涉及硅片测试相关技术领域,具体涉及一种硅片用测试平台,包括安装底座,所述安装底座的顶部安装有支撑架,所述支撑架的内部安装有驱动机构,所述驱动机构的顶部且位于支撑架的顶部安装有转盘,所述转盘的顶部安装有多组安装底板,多组所述安装底板的顶部均安装有托板,多组所述安装底板的顶部且位于托板的外侧均安装有多组定位架,多组所述定位架的内侧均安装有导向皮带,所述安装底座的左右两端均开设有安装孔,所述支撑架固定安装于安装底座的顶部,与现有的硅片测试方式相比较,本实用新型通过设计能够对硅片进行定位,提高测试的精度,同时能够对多组硅片进行测试,提高测试的效率。

主权项:1.一种硅片用测试平台,包括安装底座1,其特征在于:所述安装底座1的顶部安装有支撑架2,所述支撑架2的内部安装有驱动机构3,所述驱动机构3的顶部且位于支撑架2的顶部安装有转盘4,所述转盘4的顶部安装有多组安装底板5,多组所述安装底板5的顶部均安装有托板6,多组所述安装底板5的顶部且位于托板6的外侧均安装有多组定位架7,多组所述定位架7的内侧均安装有导向皮带8。

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