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申请/专利权人：苏州多联自动化科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种晶圆片检查角度分割器，属于晶圆片外观检测技术领域，该晶圆片检查角度分割器包括底板；外壳，外壳固定连接于底板的上端；限位环圈，限位环圈固定连接于外壳的上端；转动组件，转动组件包括电机、转动盘和连接块，电机固定连接于底板的上端，连接块固定连接于电机输出轴的圆周表面；通过本装置，相较于传统使用机械臂的方案，取代机械臂，转动晶圆片调整其角度时，只需要通过转动组件运行即可晶圆片进行检查，使用本装置时，减少机械臂调整晶圆片角度时所需的时间，从而降低检验耗费的时间。
主权项：1.一种晶圆片检查角度分割器，其特征在于，包括：底板1；外壳2，所述外壳2固定连接于底板1的上端；限位环圈4，所述限位环圈4固定连接于外壳2的上端；转动组件，所述转动组件包括电机7、转动盘5和连接块6，所述电机7固定连接于底板1的上端，所述连接块6固定连接于电机7输出轴的圆周表面，所述转动盘5固定连接于电机7的输出端，所述转动盘5固定连接于连接块6的上端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州多联自动化科技有限公司 一种晶圆片检查角度分割器
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