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申请/专利权人：北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
摘要：本申请提供一种进气结构及进气系统，用于将反应气体传输至化学气相沉积设备的腔室的晶圆表面，进气结构包括：喷淋部；喷淋部包括若干子管路、喷淋头和若干调节装置，喷淋头包括若干区域，若干子管路分别与若干区域连通，若干调节装置分别与若干区域连接，以分别调节若干区域与晶圆的距离。进气系统包括至少一个手动阀、调节阀、气体流量控制器、气动阀和上述进气结构，手动阀、调节阀、气体流量控制器和气动阀设置于进气结构的进气管前端的管路上。本申请的进气结构及进气系统能够使化学气相沉积设备的腔室内反应气体浓度分布均匀稳定，使反应气体更加均匀地沉积在晶圆表面。
主权项：1.一种进气结构，用于将反应气体传输至化学气相沉积设备的腔室内的晶圆表面，其特征在于，包括：喷淋部，所述喷淋部包括若干子管路、喷淋头和若干调节装置，所述喷淋头包括若干区域，所述若干子管路分别与所述若干区域连通，若干所述调节装置分别与若干所述区域连接，以分别调节若干所述区域与所述晶圆的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 一种进气结构及进气系统
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