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申请/专利权人：上海良薇机电工程有限公司
摘要：本实用新型涉及一种用于高纯电子气的新型钢瓶处理系统，包括气体模块、加热模块、纯度分析模块、回收模块、排放模块、真空模块和测重模块。其优点在于，利用加热模块对钢瓶进行加热处理，以使液体蒸发为气体进入气体模块，可提升钢瓶的处理效率；通过设置纯度分析模块和回收模块，可对钢瓶内气体进行含杂分析，在气体符合标准的情况下，将气体通入一级冷凝系统进行二次回收利用，减少原材料的浪费，降低生产成本，在气体不符合标准的情况下，将气体通入再生系统，避免了直接排放污染环境。
主权项：1.一种用于高纯电子气的新型钢瓶处理系统，其特征在于，包括：气体模块，所述气体模块与钢瓶连接，用于获取钢瓶的残余气体以及向钢瓶传输高纯电子气；加热模块，所述加热模块设置于所述气体模块的底部，用于对钢瓶进行加热以使钢瓶的残余液体转换为气体；纯度分析模块，所述纯度分析模块与所述气体模块连通，用于对所述气体模块的气体进行纯度分析；回收模块，所述回收模块与所述气体模块连通，用于将所述气体模块的气体回收至冷凝系统或再生系统；排放模块，所述排放模块与所述气体模块连通，用于排放所述气体模块的气体；真空模块，所述真空模块分别与所述气体模块、所述分析模块连通，用于对与所述气体模块连通的钢瓶进行真空处理；泄压模块，所述泄压模块分别与所述气体模块、所述排放模块连通，用于在管路的压力超过安全压力阈值的情况下进行泄压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海良薇机电工程有限公司 一种用于高纯电子气的新型钢瓶处理系统
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