龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：山东天岳先进科技股份有限公司
摘要：本申请公开了一种用于生长大尺寸高质量外延片的石墨盘及用于外延生长的装置，属于外延片生长技术领域。该石墨盘，包括：石墨盘本体，所述石墨盘本体的上表面向下凹陷形成凹槽，所述凹槽的中心设置有凸起，所述凸起的高度不高于所述凹槽的高度，所述凸起周向设置有2‑5个台阶，所述台阶的高度小于所述凸起的高度，且所述台阶的高度自凸起向凹槽边缘逐级递减，所述凸起与所述台阶均为石墨材质。该石墨盘专门针对中心温度低而边缘温度高的温场进行设计，通过在凹槽内设置的凸起和台阶，能够调节外延温场，降低中心与边缘的温度差，进而降低外延片的缺陷密度。
主权项：1.一种用于生长大尺寸高质量外延片的石墨盘，其特征在于，包括：石墨盘本体，所述石墨盘本体的上表面向下凹陷形成凹槽，所述凹槽的中心设置有凸起，所述凸起的高度不高于所述凹槽的高度，所述凸起周向设置有2-5个台阶，所述台阶的高度小于所述凸起的高度，且所述台阶的高度自凸起向凹槽边缘逐级递减，所述凸起与所述台阶均为石墨材质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东天岳先进科技股份有限公司 一种用于生长大尺寸高质量外延片的石墨盘及用于外延生长的装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号