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申请/专利权人：无锡联发易创科技有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆存放设备技术领域，尤其是一种多型号晶圆存放装置，包括防护罩、联动组件、支撑板和两块夹板，两块夹板相向设置于支撑板上且两块夹板中至少一块与支撑板活动连接，两块夹板相向的两端均开设有若干的放置槽；所述防护罩包括防护箱和设于防护箱右侧且与防护箱相配合的箱盖；所述支撑板和两块夹板均设于防护箱的内侧，箱盖的左端与支撑板的右端固接；两块夹板均与箱盖滑动连接；所述联动组件设于箱盖与两块夹板之间，以扩大或者缩小两块夹板之间的距离，通过本实用新型可以实现避免晶圆进行运输或者存储时收到挤压或者污染。
主权项：1.一种多型号晶圆存放装置，其特征在于：包括防护罩、联动组件、支撑板（3）和两块夹板，两块夹板相向设置于支撑板（3）上且两块夹板中至少一块与支撑板（3）活动连接，两块夹板相向的两端均开设有若干的放置槽；所述防护罩包括防护箱（1）和设于防护箱（1）右侧且与防护箱（1）相配合的箱盖（2）；所述支撑板（3）和两块夹板均设于防护箱（1）的内侧，箱盖（2）的左端与支撑板（3）的右端固接；两块夹板均与箱盖（2）滑动连接；所述联动组件设于箱盖（2）与两块夹板之间，以扩大或者缩小两块夹板之间的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡联发易创科技有限公司 一种多型号晶圆存放装置
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