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申请/专利权人：中昊光明化工研究设计院有限公司
摘要：本实用新型公开一种高纯三氟化硼的分装系统，涉及气体充装设备技术领域，包括主管路以及设置在主管路上的K7阀门，K7阀门的两侧分别为真空处理区和产品充装区；产品充装区中设置有原料气瓶和充装气瓶，原料气瓶通过K1阀门、K12阀门连接主管路，充装气瓶通过K2阀门、K13阀门连接主管路；充装气瓶与K13阀门之间的支管路通过K14阀门与真空处理区连接；真空处理区包括循环水真空泵、机械真空泵和氮气气源，循环水真空泵通过K10阀门连接主管路，机械真空泵通过K11阀门连接主管路；氮气气源通过K9阀门连接主管路；本实用新型既能够保证分装三氟化硼高纯度的同时避免管线内的三氟化硼外泄污染环境，还能够保护机械真空泵，延长其使用寿命。
主权项：1.一种高纯三氟化硼的分装系统，其特征在于，包括主管路以及设置在所述主管路上的K7阀门，所述主管路上，所述K7阀门的两侧分别为真空处理区和产品充装区；所述产品充装区中设置有原料气瓶和充装气瓶，所述原料气瓶通过K1阀门、K12阀门连接所述主管路，所述充装气瓶通过K2阀门、K13阀门连接所述主管路；所述充装气瓶与所述K13阀门之间的支管路通过K14阀门与所述真空处理区连接，且所述K13阀门与所述产品充装区的连接端靠近所述K7阀门；所述真空处理区包括循环水真空泵、机械真空泵和氮气气源，所述循环水真空泵通过K10阀门连接所述主管路，所述机械真空泵通过K11阀门连接所述主管路；所述氮气气源通过K9阀门连接所述主管路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中昊光明化工研究设计院有限公司 一种高纯三氟化硼的分装系统
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