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申请/专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
摘要：本发明涉及一种用于圆形或圆形局部视场的焦平面探测器的制作方法，根据系统视场的特点，针对圆形或圆形局部视场的系统应用，利用圆形的材料晶圆，不再切割成方形，制作圆形或圆形局部形状的焦平面探测器芯片，并将所述芯片与读出电路耦合，形成焦平面探测器。本发明中直接采用圆形材料制作圆形或圆形局部外形的探测器可以更有效的利用材料制作更高分辨率的探测器，降低探测器制作难度及成本。
主权项：1.一种用于圆形或圆形局部视场的焦平面探测器的制作方法，其特征在于，所述方法包括：根据系统视场的特点，针对圆形或圆形局部视场的系统应用，利用圆形的材料晶圆，不再切割成方形，制作圆形或圆形局部形状的焦平面探测器芯片，并将所述芯片与读出电路耦合，形成焦平面探测器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海技术物理研究所 一种用于圆形或圆形局部视场的焦平面探测器的制作方法
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