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申请/专利权人：内蒙古大全半导体有限公司
摘要：本发明适用于酸洗篮毛刺去除技术领域，一种电子级多晶硅酸洗篮的毛刺去除方法，其特征在于：其包括以下步骤：（1）喷砂；（2）酸洗；（3）一次水洗；（4）脱脂；（5）二次水洗；（6）吹干。有益效果：本发明公开的工艺中可以避免损坏酸洗篮本体，同时可有效的去除酸洗篮表面附着的毛刺；避免硅料酸洗时引入新的C杂质，保证了酸洗篮的洁净度；经过本发明工艺处理后的酸洗篮，可在生产上重复使用，避免了酸洗篮一次性损耗，节省了生产成本。
主权项：1.一种电子级多晶硅酸洗篮的毛刺去除方法，其特征在于：其包括以下步骤：（1）喷砂：对酸洗篮的毛刺面进行10-20s的喷砂处理；（2）酸洗：将步骤（1）喷砂处理后的酸洗篮浸入混合酸液中酸洗5-10min；（3）一次水洗：将步骤（2）酸洗后的酸洗篮浸入高纯水中浸泡5-10min；（4）脱脂：将步骤（3）水洗后的酸洗篮浸入脱脂液中脱脂15min-30mim；（5）二次水洗：将步骤（4）脱脂后的酸洗篮浸入高纯水中浸泡至少5min；（6）吹干：采用风机将步骤（5）二次水洗后的酸洗篮吹干。
全文数据：
权利要求：
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