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申请/专利权人：TOTO株式会社
摘要：静电吸盘具备：电介体基板，形成有穿通孔；RF电极，被埋入到电介体基板内部；及吸附电极，在比RF电极更靠载放面侧的位置上，被埋入到电介体基板内部。在从垂直于载放面的方向进行观察时，在吸附电极上形成有与上述穿通孔同心且包含上述穿通孔的圆形的第1开口，且在RF电极上形成有与上述穿通孔同心且包含上述穿通孔的圆形的第2开口。第2开口的半径比第1开口的半径更大。
主权项：1.一种静电吸盘，具备：电介体基板，具有载放被吸附物的载放面，且形成有垂直于该载放面的穿通孔；RF电极，被埋入到所述电介体基板内部；及吸附电极，在比所述RF电极更靠所述载放面侧的位置上，被埋入到所述电介体基板内部，其特征在于，在从垂直于所述载放面的方向进行观察时，在所述吸附电极上，形成有与所述穿通孔同心且包含所述穿通孔的圆形的第1开口，在所述RF电极上，形成有与所述穿通孔同心且包含所述穿通孔的圆形的第2开口，所述第2开口的半径比所述第1开口的半径更大。
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