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申请/专利权人：芯博康(西安)微电子科技有限公司
摘要：本申请涉及芯片清洗技术领域，揭示了一种芯片清洗方法、装置、芯片清洗设备及存储介质，应用于芯片清洗设备，启动清洗液泵并打开清洗液电磁阀，其中，清洗液储存器中的清洗液先后通过清洗液泵、清洗液电磁阀以及第一单通，进入到调节阀，接着通过水路控制器打开清洗水电磁阀，其中，清洗水先后通过清洗水电磁阀、清洗水流量计以及第二单通，进入到调节阀，最后打开调节阀，通过气路控制器启动气阀，其中，清洗液与清洗水在气阀所施加的压力下通过调节阀，从二流体喷头喷出，对芯片进行清洗，能够混合清洗液以及清洗水，并在气阀所施加的压力下通过调节阀，从二流体喷头喷出，对芯片进行清洗，实现了对芯片的高效冲洗。
主权项：1.一种芯片清洗方法，其特征在于，应用于芯片清洗设备，芯片清洗设备包括清洗液储存器、清洗液泵、清洗液电磁阀、第一单通、第二单通、清洗水流量计、清洗水电磁阀、清洗水、气阀、二流体喷头、调节阀、水路控制器、气路控制器，所述清洗液储存器的出口端连接所述清洗液泵的一端，所述清洗液泵的另一端连接所述清洗液电磁阀的一端，所述清洗液电磁阀的另一端连接所述第一单通的一端，所述第一单通的另一端连接所述调节阀的一端，所述调节阀的另一端连接所述二流体喷头；所述清洗水的一端连接清洗水电磁阀的一端，清洗水电磁阀与水路控制器连接，清洗水电磁阀的另一端与清洗水流量计的一端连接，清洗水流量计的另一端与第二单通的一端连接，第二单通的另一端连接所述调节阀的一端；气阀的一端连接所述二流体喷头，气阀与气路控制器连接；所述芯片清洗方法包括：响应于目标用户针对所述芯片清洗装置的开启操作，启动清洗液泵并打开清洗液电磁阀，其中，清洗液储存器中的清洗液先后通过清洗液泵、清洗液电磁阀以及第一单通，进入到调节阀；通过水路控制器打开清洗水电磁阀，其中，清洗水先后通过清洗水电磁阀、清洗水流量计以及第二单通，进入到调节阀；打开调节阀，并通过气路控制器启动气阀，其中，清洗液与清洗水在气阀所施加的压力下通过调节阀，从二流体喷头喷出，对芯片进行清洗。
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权利要求：
百度查询： 芯博康(西安)微电子科技有限公司 芯片清洗方法、装置、芯片清洗设备及存储介质
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