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热声键合机的联动式断线装置 

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申请/专利权人:西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

摘要:本发明涉及半导体产品加工设备技术领域,具体涉及一种热声键合机的联动式断线装置,主要解决现有热声键合机人工断线容易导致键合点不完整的技术问题。本装置设有底架、旋转架、第一驱动组件、夹线机构和第二驱动组件,通过第一驱动组件推拉旋转架能使旋转架转动,从而实现夹线机构的升降,夹线机构包括安装块,安装块设有固定夹线部,安装块上还安装有活动臂,活动臂设有活动夹线部,通过第二驱动组件推拉活动臂能够实现活动夹线部在夹线状态和避让状态之间的切换,如此通过第一驱动组件和第二驱动组件配合,能够实现夹线机构在夹线后上升,最终将引线扯断。本装置能够代替人工完成断线处理,不但节省了人力,而且能够保证键合点的完整。

主权项:1.一种热声键合机的联动式断线装置,其特征在于,包括:底架(1);旋转架(2),其X向前端通过第一铰接轴(21)铰接在所述底架(1)上,所述第一铰接轴(21)沿Y向布置;第一驱动组件(3),其设于所述底架(1)上,所述第一驱动组件(3)用以沿X向推拉所述旋转架(2)的X向后端以使所述旋转架(2)绕所述第一铰接轴(21)转动;夹线机构(4),其包括固定于所述旋转架(2)上的安装块(41),所述安装块(41)的Y向一端设有固定夹线部(411),所述安装块(41)还通过第二铰接轴(42)铰接有活动臂(43),所述第二铰接轴(42)沿Z向布置且位于所述活动臂(43)的Y向中部,所述活动臂(43)的Y向一端形成有活动夹线部(431),所述活动夹线部(431)具有靠近所述固定夹线部(411)的夹线状态以及远离所述固定夹线部(411)的避让状态;第二驱动组件(5),其设于所述旋转架(2)上,所述第二驱动组件(5)用以沿X向推拉所述活动臂(43)的Y向另一端以使所述活动臂(43)绕所述第二铰接轴(42)转动。

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