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申请/专利权人：中科光智(重庆)科技有限公司
摘要：本发明公开了一种热压烧结设备的压头装配结构，预紧组件，设置于压头与压头固定板之间，所述预紧组件至少包括可张紧压头与压头固定板竖向间距的弹性件；调整组件，设置于压头与压头固定板之间，所述调整组件至少包括三个位置不共线的限位件。本发明在压头与压头固定板上设置预紧组件和调整组件，弹性件的张紧力使得压头在装配调整过程中，螺纹与螺牙之间的间隙减小，防止因螺牙间隙导致平面度调整失效；三个限位件在压头或压头固定板上的位置不共线，防止压头相对于压头固定板发生旋转位移，有效保证压头的装配时严格按照装配的角度控制要求，避免由于装配误差而导致压头在压接时损坏芯片。
主权项：1.一种热压烧结设备的压头装配结构，包括压头和压头固定板，所述压头连接于压头固定板的底部，其特征在于：包括，预紧组件，设置于压头与压头固定板之间，所述预紧组件至少包括可张紧压头与压头固定板竖向间距的弹性件，用于防止压头相对于压头固定板的竖向方向出现位移；调整组件，设置于压头与压头固定板之间，所述调整组件至少包括三个位置不共线的限位件，用于防止压头相对于压头固定板的底部出现位移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中科光智(重庆)科技有限公司 一种热压烧结设备的压头装配结构
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