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申请/专利权人:中国科学院化学研究所
摘要:本发明涉及一种XPS样品冷冻转移装置与方法,XPS样品冷冻转移装置包括样品准备腔室和快速冷冻真空腔室,快速冷冻真空腔室的一端与样品准备腔室连接,另一端与XPS仪器制备腔室连接,快速冷冻真空腔室内设置有可控温的低温冷冻模块和用于装载样品的正压密封模块,低温冷冻模块与正压密封模块嵌套连接;传送机构,传送机构穿过样品准备腔室与正压密封模块可拆卸连接,传送机构能够带动正压密封模块在快速冷冻真空腔室内移动,并能够将正压密封模块转移至XPS仪器制备腔室。本发明装置成本较低,结构紧凑,操作便捷,具备正压惰性气氛环境原位转移、快速冷冻控温功能、原位样品回收及其他真空环境下的拓展功能。
主权项:1.一种XPS样品冷冻转移装置,其特征在于,包括:样品准备腔室(2)和快速冷冻真空腔室(3);所述快速冷冻真空腔室(3)的一端与所述样品准备腔室(2)连接,另一端与XPS仪器制备腔室(7)连接,所述快速冷冻真空腔室(3)内设置有可控温的低温冷冻模块(4)和用于装载样品的正压密封模块(1),所述低温冷冻模块(4)与所述正压密封模块(1)嵌套连接;传送机构(5),所述传送机构(5)穿过所述样品准备腔室(2)与所述正压密封模块(1)可拆卸连接,所述传送机构(5)能够带动所述正压密封模块(1)在所述快速冷冻真空腔室(3)内移动并能够将所述正压密封模块(1)转移至所述XPS仪器制备腔室(7)。
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权利要求:
百度查询: 中国科学院化学研究所 一种XPS样品冷冻转移装置与方法
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