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申请/专利权人：苏州大学
摘要：本发明涉及一种快速制造微纳米沟道的方法以及制备微纳米脊的方法；采用的一种低成本快速制造阵列微纳米沟道、交叉式阵列微纳米沟道和阵列微纳米脊的方法；以PDMS柔性材料为基底，BN系列光刻胶为目标材料，通过简单的剥离工艺能直接获得阵列微纳米沟道；更改剥离起始点能在不影响原图形的基础上获得交叉式阵列微纳米沟道；剥离去除BN系列光刻胶可获得阵列微纳米脊。本发明的一种快速制造微纳米沟道的方法以及制备微纳米脊的方法，具有高效创新、成本低、易于实现，还具有较大的应用潜力和商业价值。
主权项：1.一种快速制造微纳米沟道的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，获取柔性层组合基板，所述柔性层组合基板包括基底、以及设置在基底上的柔性基底层，在所述柔性基底层的表面旋涂光刻胶；步骤2，将旋涂有光刻胶的柔性层组合基板加热；步骤3，将经过步骤2处理后的带有光刻胶的柔性层组合基板冷却至室温；步骤4，将经过步骤3处理后的带有光刻胶的柔性层组合基板上的带有光刻胶的柔性基底层在基底上从柔性基底层一侧向相对的另一侧拉起剥离，在柔性基底层上的光刻胶上形成若干条阵列微纳米沟道（6）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州大学 快速制造微纳米沟道的方法以及制备微纳米脊的方法
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