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一种锻造制备旋转阳极靶材的方法及其得到的旋转阳极靶材 

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申请/专利权人:中南大学

摘要:本发明属于粉末冶金技术领域,本发明提供了一种锻造制备旋转阳极靶材的方法及其得到的旋转阳极靶材。本发明的方法包含如下步骤:将钛锆钼合金粉和钨铼合金粉进行压制成型,得到成型坯;在保护气氛下,将成型坯进行烧结成型,得到烧结靶材;将烧结靶材顺次进行锻造、退火处理,得到旋转阳极靶材。本发明的方法得到的钨铼TZM旋转阳极靶材,靶面的钨铼合金组织为变形态,能够很好的防止产品使用过程中裂纹的产生和扩展,可以进一步提高产品的使用寿命,良品率高;旋转阳极靶材具有晶粒细小、组织均匀、致密度高、杂质元素含量低、界面结合强度高等优异性能,且表面硬度高、连接面元素扩散均匀、散热性好、抗热冲击性好、产品尺寸大。

主权项:1.一种锻造制备旋转阳极靶材的方法,其特征在于,包含如下步骤:1将钛锆钼合金粉和钨铼合金粉进行压制成型,得到成型坯;2在保护气氛下,将成型坯进行烧结成型,得到烧结靶材;3将烧结靶材顺次进行锻造、退火处理,得到旋转阳极靶材。

全文数据:

权利要求:

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