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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本发明公开一种新型电容式微机械超声换能器和控制方法，涉及微纳传感器件技术领域。该新型电容式微机械超声换能器包括：衬底、设置在衬底上的多个腔室以及多个谐振极板；其中，每一腔室至少在顶部设置有谐振极板，上下相邻的腔室之间共用谐振极板；所述多个腔室中的至少两个腔室在自然状态下高度不相同，和或，至少部分上下相邻的腔室所共用的谐振极板，能够发生形变，进而引起相应腔室高度的变化。这样，可在接收超声波信号的场景下，令自然状态下或变形后高度相对较小的腔室作为接收腔，而在发送超声波信号的场景下，令自然状态下或变形后高度较大的腔室作为发送腔。因此，能够支持提高接收灵敏度的同时提升发送声压。
主权项：1.一种新型电容式微机械超声换能器，其特征在于，包括：衬底、设置在衬底上的多个腔室以及多个谐振极板；其中，每一腔室至少在顶部设置有谐振极板，上下相邻的腔室之间共用谐振极板；所述多个腔室中的至少两个腔室在自然状态下高度不相同，和或，至少部分上下相邻的腔室所共用的谐振极板，能够发生形变。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 新型电容式微机械超声换能器和控制方法
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