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申请/专利权人：张江国家实验室
摘要：本发明提供一种基于飞秒激光制备的柔性神经电极及方法，将MEMS工艺与飞秒激光加工制造相结合，可无掩膜形成高密度、线路长的导线，以得到高加工精度、高成品率、高密度、高通量、具有三维结构的柔性神经电极，可消除MEMS工艺的局限性，扩大柔性神经电极的应用。
主权项：1.一种基于飞秒激光制备柔性神经电极的方法，其特征在于，所述柔性神经电极划分为探测区及采集区，制备方法包括以下步骤：提供衬底；于探测区中的所述衬底上形成牺牲层；形成第一柔性绝缘介质层，所述第一柔性绝缘介质层覆盖所述牺牲层及采集区中的所述衬底；于采集区中的所述第一柔性绝缘介质层上形成采集电极阵列；利用飞秒激光直写在所述第一柔性绝缘介质层上形成导线，所述导线的第一端与所述采集电极阵列连接；形成第二柔性绝缘介质层，所述第二柔性绝缘介质层覆盖所述导线及所述采集电极阵列；图形化所述第二柔性绝缘介质层及所述第一柔性绝缘介质层，暴露采集区中的所述采集电极阵列，以及于探测区形成探测电极沟槽，且所述探测电极沟槽显露所述牺牲层及所述导线的第二端；于所述探测电极沟槽内形成探测电极阵列，且所述探测电极阵列与所述导线的第二端连接；去除所述牺牲层形成空腔；去除位于所述空腔下方的所述衬底，获得所述柔性神经电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 张江国家实验室 基于飞秒激光制备的柔性神经电极及方法
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