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申请/专利权人:宁夏大学
摘要:本发明公开增强CoFe基磁性多层膜垂直磁各向异性的方法,具体步骤如下:步骤1.制备MgO层:由射频磁控溅射法直接在衬底上沉积;步骤2.制备CoFe基磁性层:由射频磁控溅射法在MgO层上沉积CoFe基磁性层;步骤3.制备Mo隔离层:由直流磁控溅射法在CoFe基磁性层上沉积Mo隔离层;步骤4.制备重金属层:由直流磁控溅射法在Mo隔离层上沉积重金属层;步骤5.退火:在重金属层沉积结束后,将样品进行退火处理。该方法制备流程简单,制备难度较小,对CoFe基磁性多层膜的垂直磁各向异性增强有效可靠。
主权项:1.增强CoFe基磁性多层膜垂直磁各向异性的方法,其特征在于,具体步骤如下:步骤1.制备MgO层:由射频磁控溅射法直接在衬底上沉积;步骤2.制备CoFe基磁性层:由射频磁控溅射法在MgO层上沉积CoFe基磁性层;步骤3.制备Mo隔离层:由直流磁控溅射法在CoFe基磁性层上沉积Mo隔离层;步骤4.制备重金属层:由直流磁控溅射法在Mo隔离层上沉积重金属层;步骤5.退火:在重金属层5沉积结束后,将样品进行退火处理。
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权利要求:
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