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申请/专利权人：江苏明芯微电子股份有限公司

摘要：本发明公开了一种基于机器视觉和自动化技术的晶片微观检测系统，涉及晶片检测技术领域，包括自动化控制模块、光源模块、照明模块、环境监测与调控模块、成像模块、图像传输与存储模块、图像处理模块和分析模块，光源模块用于提供稳定均匀和亮度适当的光源，照明模块用于设计和优化照明方式；光源模块包括光源选型子模块和光源控制子模块；光源选型子模块包括LED光源、卤素灯和荧光灯中的一种或多种；光源控制系统子模块包括亮度调节单元、稳定性控制单元、短路保护单元、掉电保存单元和寿命监测单元。本发明通过设置有光源模块，提高晶片微观检测系统的适应性，能够适应不同检测环境和要求，从而提高晶片微观检测系统的准确性和可靠性。

主权项：1.一种基于机器视觉和自动化技术的晶片微观检测系统，其特征在于，包括自动化控制模块、光源模块、照明模块、环境监测与调控模块、成像模块、图像传输与存储模块、图像处理模块和分析模块，自动化控制模块用于协调和管理各个模块的工作，光源模块用于提供稳定均匀和亮度适当的光源，照明模块用于设计和优化照明方式，环境监测与调控模块用于监测检测环境并进行调节，成像模块用于捕获晶片的微观图像，图像传输与存储模块用于将成像模块获取的图像数据传输到图像处理单元，图像处理模块用于对图像数据进行特征提取，分析模块用于对图像处理模块提取出的信息进行分析；光源模块包括光源选型子模块和光源控制子模块；光源选型子模块包括LED光源、卤素灯和荧光灯中的一种或多种，LED光源用于晶片的表面检查、边缘检测和三维形貌分析，卤素灯用于观察晶片表面的细节或进行高亮度的照明，荧光灯用于晶片的表面缺陷检查；光源控制系统子模块包括亮度调节单元、稳定性控制单元、短路保护单元、掉电保存单元和寿命监测单元；亮度调节单元用于调节光源选型子模块的亮度，稳定性控制单元用于保持光源稳定输出，短路保护单元用于监测光源电路的状态，一旦检测到短路或其他异常情况，立即切断电源，掉电保存单元用于在电源掉电时保存光源的工作参数和状态信息，寿命监测单元用于监测光源的使用寿命，根据光源的使用时间和亮度衰减情况，预测光源的剩余寿命；照明模块包括照明方式设计子模块和照明均匀性优化子模块；照明方式设计子模块包括直接照明、环形照明、暗场照明、同轴照明和斜射照明中的一种或多种，直接照明用于检测晶片表面的整体平整度和大面积缺陷，环形照明用于检测晶片边缘和轮廓，暗场照明用于检测晶片表面的微小缺陷、划痕和污染物，同轴照明用于检测晶片表面的细节纹理和图案，斜射照明用于检测晶片表面的高度变化；照明均匀性优化子模包括光源布局、反射镜设计、使用匀光板和数字图像处理技术，首先进行合理的光源布局，通过匀光板将光源发出的光线进行扩散和均匀化，使用反射镜将光线均匀地反射到晶片上，在图像采集后，通过数字图像处理技术调整图像的亮度和对比度；环境监测与调控模块包括传感器子模块和调控子模块；传感器子模块包括光源传感器、位置传感器、温度传感器和湿度传感器，光源传感器用于监测光源模块的亮度，位置传感器用于监测晶片在检测平台上的位置，温度传感器和湿度传感器分别用于监测检测环境的温度和湿度；调控子模块基于传感器子模块的监测数据，对检测环境的温度和湿度进行实时调节。

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