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申请/专利权人：江苏凯威特斯半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种低粗糙度耐刻蚀Y2O3涂层的制备方法，涉及耐等离子刻蚀陶瓷涂层领域。方法包括以下步骤：S1、对基体进行前处理；S2、对前处理后的基体进行热处理；S3、将预处理后的喷涂粉末用APS喷涂到S2处理后的基体表面；S4、将预处理后的喷涂浆料用SPS喷涂到S3所得涂层表面；其中，S4中预处理后的喷涂浆料，预处理方法包括：将喷涂浆料搅拌升温至173‑190℃，保持10‑30min，继续升温至220‑240℃，保持10‑30min。本发明通过对基体表面、喷涂浆料以及涂层进行多步特定预处理或热处理步骤，进一步提升了氧化钇涂层的结合强度，降低了孔隙率和表面粗糙度，所得涂层各项性能优越。
主权项：1.一种低粗糙度耐刻蚀Y2O3涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、对基体进行前处理；S2、对前处理后的基体进行热处理；S3、将预处理后的喷涂粉末用大气等离子喷涂喷涂到S2处理后的基体表面；S4、将预处理后的喷涂浆料用悬浮液等离子喷涂喷涂到S3所得涂层表面；其中，S4中预处理后的喷涂浆料，预处理方法包括：将喷涂浆料搅拌升温至173-190℃，保持10-30min，继续升温至220-240℃，保持10-30min，其中，喷涂浆料包括氧化钇和纯化水，氧化钇质量占氧化钇与纯化水质量之和的20wt%；浆料中还包括分散剂聚丙烯酸铵，在浆料中的质量分数为2.00wt%；消泡剂BYK-012，在浆料中的质量分数为1.50wt%；S3所述预处理后的喷涂粉末，预处理方法包括：将氧化钇与聚乙二醇混合升温至80-100℃，保持10-20min，升温至135-140℃，保持10-20min，完全除去液体后所得粉末备用；其中氧化钇与聚乙二醇的质量比为20-25:1；S2所述热处理，将基体加热到350-380℃后，降温至170-200℃。
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