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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种半导体预对准方法、装置、电子设备以及存储介质，属于自动化设备技术领域。该方法包括：获取测量范围内至少包括半导体的部分圆弧的半导体图像；确定半导体图像中至少一个圆弧点的坐标值，并根据其中一个圆弧点的坐标值确定对应在半导体图像中的目标导数值；将目标导数值与预设的多个标准圆数据进行逐级对比，确定目标导数值对应的标准导数值，并根据坐标值和标准导数值确定半导体的圆心位置；移动半导体直至半导体的圆心位置与载物台的中心位置对齐时，将半导体放置于载物台上，并根据至少一个坐标值确定半导体的切边或缺口，旋转载物台直至切边或缺口面向第一预设方向。本申请能够提高半导体的预对准效率。
主权项：1.一种半导体预对准方法，其特征在于，所述方法包括：当待处理的半导体移动至测量范围内时，获取至少包括所述半导体的部分圆弧的半导体图像；确定所述半导体图像中至少一个圆弧点的坐标值，并根据其中一个所述圆弧点的所述坐标值确定对应在所述半导体图像中的目标导数值；将所述目标导数值与预设的多个标准圆数据进行逐级对比，确定所述目标导数值对应的标准导数值，并根据所述坐标值和所述标准导数值确定所述半导体的圆心位置；移动所述半导体直至所述半导体的所述圆心位置与载物台的中心位置对齐时，将所述半导体放置于所述载物台上，并根据至少一个所述坐标值确定所述半导体的切边或缺口，旋转所述载物台直至所述切边或所述缺口面向第一预设方向；所述将所述目标导数值与预设的多个标准圆数据进行逐级对比，确定所述目标导数值对应的标准导数值，包括：确定所述目标导数值对应的优先级顺序由高至低的多个精度级别，所述精度级别包括第一精度级别、第二精度级别和第三精度级别；根据所述第一精度级别，从第一精度区间下的多个所述标准圆数据中确定多个第一标准导数值；根据所述第二精度级别，从第二精度区间下的多个所述第一标准导数值中筛选得到多个第二标准导数值；根据所述第三精度级别，从第三精度区间下的多个所述第二标准导数值中筛选得到所述目标导数值对应的标准导数值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 半导体预对准方法、装置、电子设备以及存储介质
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