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阵列探测器单像素结构 

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申请/专利权人:天津谱芯科技有限公司;宁波知谱科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种阵列探测器单像素结构,该结构利用单个光电转换单元实现成像,突破了利用二维阵列探测器件的传统成像方式,大大降低了对探测器的要求,同时保证了高光效率和良好的光学性能。该阵列探测器单像素结构采用InGaAs材料制成,具有高灵敏度和高光谱响应率,适用于近红外光谱的检测。

主权项:1.一种阵列探测器单像素结构,其特征在于:该单像素结构为半导体层叠结构,包括:InP衬底(1),用于支撑光电二极管阵列;N-InP层2,设置在InP衬底1上;InGaAs层3,设置在N-InP层2上,P-InP层(4)设置在InGaAs层(3)上,用于实现光电二极管阵列的光电转换功能和背照式工作方式;InGaAs欧姆接触层(5),设置在P-InP4层上,用于将光电二极管阵列的光电流转换为电流;聚酰亚胺钝化层6,设置在InGaAs欧姆接触层5上,并包覆InP衬底(1)、N-InP层(2)、InGaAs层(3)、P-InP层(4)以及InGaAs欧姆接触层(5),用于保护阵列探测器单像素结构免受外界环境的干扰;阳极金属电极(7),设置在InGaAs欧姆接触层(5)上,用于收集输出的电荷;共阴极金属电极(8),设置在N-InP层(2)一侧上,用于将阳极金属电极输出的电荷传输到外部电路。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 天津谱芯科技有限公司 宁波知谱科技有限公司 阵列探测器单像素结构

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