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申请/专利权人：济南紫源电子有限公司
摘要：本发明公开了一种半导体生产输送抽样抓取机构，涉及半导体生产相关技术领域，包括架体，所述架体上设有输送模块与抓取模块，所述输送模块包括输送半导体的第一输送支链和输送抓取模块的第二输送支链；所述架体上还设有检测第一输送支链运动速度的速度检测机构以及识别待测半导体的识别机构；所述速度检测机构基于识别机构的信号，将第一输送支链的运动速度传递给第二输送支链；所述第二输送支链基于速度检测机构的信号带动抓取模块加速运动，所述抓取模块的运动速度与待测半导体的运动速度一致且位置对齐时，抓取模块对被待测半导体进行抓取。
主权项：1.一种半导体生产输送抽样抓取机构，包括架体，所述架体上设有输送模块与抓取模块，其特征在于，所述输送模块包括输送半导体的第一输送支链和输送抓取模块的第二输送支链；所述架体上还设有检测第一输送支链运动速度的速度检测机构以及识别待测半导体的识别机构；所述速度检测机构基于识别机构的信号，将第一输送支链的运动速度传递给第二输送支链；所述第二输送支链基于速度检测机构的信号带动抓取模块加速运动，所述抓取模块的运动速度与待测半导体的运动速度一致且位置对齐时，抓取模块对被待测半导体进行抓取。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 济南紫源电子有限公司 一种半导体生产输送抽样抓取机构
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