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申请/专利权人：西北大学
摘要：基于特殊带通滤波准直器的串联型法布里‑珀罗三分量加速度计，三分量加速度计以抗衡向干扰能力较强的铰链膜片单元作为传感元件，将质量块固定于正中间，并正交装配至架上；每一级加速度计上装有一个特殊带通滤波准直器，其透射端面可作为干涉腔的一个反射面，另一个反射面为镀有银箔的质量块；特殊带通滤波准直器由一个双纤准直器、镀有增透膜的G‑lens、TFF型滤波片以及无镀膜的G‑lens组合而成。在保证较小的尺寸下同时起到滤波以及充当干涉面的作用；特殊带通滤波准直器可透射特殊波段的光（带宽20nm）反射其余波段的光并且经过双纤准直器以最小的损耗传输到下一级，实现单通道多级串联效果。
主权项：1.基于特殊带通滤波准直器的串联型法布里-珀罗三分量加速度计，其特征在于，三个正交排列的铰链膜片传感单元（9）和三个特殊带通滤波准直器及骨架组成；所述的特殊带通滤波准直器由双纤准直器（1）、镀有增透膜的G-lens（3）、TFF型滤波片（4）以及没有镀膜的G-lens（5）依次用环氧树脂胶粘接（2）组成，铰链膜片传感单元（9）正交排列组装至骨架（8）上，分别用环氧树脂胶固定；特殊滤波准直器插入三分量加速度计骨架（8）预留的孔位后用环氧树脂胶固定，将质量块固定于铰链膜片（9）的中心，质量块上层镀有铝箔用作干涉腔的一个反射面，特殊带通滤波准直器的透射光输出端（6）作为干涉腔的另外一面；将三分量加速度计骨架（8）用M5螺丝固定于圆柱形外壳中。
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百度查询： 西北大学 基于特殊带通滤波准直器的串联型法布里-珀罗三分量加速度计
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