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申请/专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司
摘要：本发明提出了一种立式pecvd设备，包括外炉管、内炉管和加热源，所述外炉管内安装所述内炉管，所述外炉管与所述内炉管之间的两端分别设置炉盖组件和可开关的炉门，密封连接并穿过所述炉盖组件的多对电极，设置在炉管外部电连接所述电极的射频电源，每对电极与直通腔室内的对应载具电连接。本发明通过在炉管的端部设置电极，通过电极穿过炉盖部分连接炉管内的直通腔室与炉管外的射频电源，使石墨舟通过电极通电。在载具在炉管内旋转的实施例中，通过将电极直接穿设在驱动载具的承载件旋转的旋转轴上，使电极既能够跟随载具旋转，解决密封以及转动接线的问题，同时外部配合电滑环或者电刷基体，来实现转动导电连接，使电极能够与射频电源可靠连接。
主权项：1.一种立式pecvd设备，包括外炉管、内炉管和加热源，所述外炉管内安装所述内炉管，所述外炉管与所述内炉管之间的两端分别设置炉盖组件和可开关的炉门，使所述内炉管与所述外炉管之间的直通腔室上下两端密闭，所述加热源用于加热所述直通腔室，其特征在于，还包括密封连接并穿过所述炉盖组件的多对电极，设置在炉管外部电连接所述电极的射频电源，每对所述电极与直通腔室内的对应载具电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州捷佳创精密机械有限公司 立式pecvd设备
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