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申请/专利权人：西北工业大学;西安赛福斯材料防护有限责任公司

摘要：本发明公开了一种适用于TiAl合金的高温抗氧化涂层及其制备方法，该方法包括：一、处理得到预制的TiAl合金基材；二、准备TiaAlbCrcNbdSieYf多元合金靶材；三、对预制的TiAl合金基材进行等离子体刻蚀；四、采用多弧离子镀获得表面沉积Ti‑Al‑Cr‑Nb‑Si‑Y高温抗氧化涂层的TiAl合金。本发明采用多弧离子镀工艺在TiAl合金表面制备Ti‑Al‑Cr‑Nb‑Si‑Y涂层，该涂层结构均匀致密，与基体TiAl合金结合良好，且硬度高，具备良好高温抗氧化性能，且该制备工艺简单，可操作性强，生产成本较低，利于大规模产业化应用。

主权项：1.一种适用于TiAl合金的高温抗氧化涂层的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、TiAl合金基材预制：将TiAl合金表面精加工后进行抛光处理，随后清洗至目测表面无灰尘、油污、水渍等杂质后洗净烘干，得到预制的TiAl合金基材；步骤二、多元合金靶材准备：准备TiaAlbCrcNbdSieYf多元合金靶材并安装于多弧离子镀设备的真空室阴极靶位上，其中a、b、c、d、e、f代表各对应元素的原子占比，且a+b+c+d+e+f＝1，0.1≤a≤0.3，0.5≤b≤0.6，0.1≤c≤0.16，0.03≤d≤0.04，0.05≤e≤0.10，f≈0.01；步骤三、基材刻蚀：将步骤一中预制的TiAl合金基材安置于步骤二中装有TiaAlbCrcNbdSieYf多元合金靶材的真空室载物架上，抽真空使真空室内压强不超过5×10-3Pa，开启高频等离子体电源，然后通入H2调节真空室内压强为0.5Pa～2Pa，再对预制的TiAl合金基材加偏压，形成的电场对TiAl合金基材进行等离子体刻蚀除去表面的氧化物杂质，而后停止通入H2，通入Ar气调节真空室内压强为0.5Pa～2Pa，继续对TiAl合金基材进行等离子体刻蚀；步骤四、多元涂层沉积：对步骤三中经Ar气等离子体刻蚀后的TiAl合金施加外加电场，并向真空室内通入氩气调节真空度，然后启动阴极靶电弧进行多弧离子镀，获得表面沉积Ti-Al-Cr-Nb-Si-Y高温抗氧化涂层的TiAl合金。

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