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申请/专利权人：济南大学
摘要：本发明属于微量液氮流量控制技术领域，特别是应用于难加工材料深冷加工的一种装置，包括振动料仓、自增压液氮罐、氮气储存罐、液位传感器、进液电磁阀、高频开关、变频控制电路、超声发生器、超声换能器、调压阀、单向阀和系统控制主机，振动料仓上设置料仓进气口、料仓出料口和料仓进料口，氮气通过输气管与调压阀连接，调压阀的出口通过输气管与高频开关阀相连接，变频控制电路与高频开关阀的电路相连接，高频开关阀的出气口与振动料仓的进气口相连接，振动料仓与超声发生器相连接，自增压液氮罐与料仓进料口相连接，液位传感器安装在振动料仓上。本装置能准确的实现微量液氮流量的控制。
主权项：1.超声振动辅助微量液氮流量控制系统，其特征在于，包括振动料仓、自增压液氮罐、氮气储存罐、液位传感器、高频开关、变频控制电路、超声发生器、超声换能器、调压阀、单向阀和系统控制主机，其中，所述振动料仓上设置有料仓进气口、料仓出料口、料仓液氮入口和单向阀；所述氮气存储罐依次连接调压阀、高频开关阀，所述高频开关阀出口与料仓进气口相连接；所述变频控制电路与高频开关阀相连接；所述自增压液氮罐通过进液电磁阀与料仓液氮入口相连接，以用于向振动料仓内通入液氮；所述液位传感器安装在所述振动料仓上，以获取振动料仓内液氮的液位；所述控制主机通过液位传感器采集振动料仓内的液氮液面高度数据，从而控制进液电磁阀的开关，进而实现液氮液面高度控制；所述振动料仓与超声换能器相连接；所述超声换能器电极与超声发生器电极相连接。
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权利要求：
百度查询： 济南大学 超声振动辅助微量液氮流量控制系统
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