龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海新傲科技股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种外延机台的进气装置，所述外延机台包括基座，所述外延机台的进气装置包括嵌于基座中的基台、固定于所述基台上的喷管、以及隔热环。通过在高出所述基台的喷嘴的外侧环绕设置隔热环，并且使所述隔热环与所述喷嘴之间具有间隙以及所述隔热环与所述基座之间具有间隙，使得所述喷嘴在所述基台的高温辐射影响下也不会导致温度过高，进而减少了反应气体因高温在喷嘴口产生的沉积物，从而减少了所述喷嘴口的沉积物对硅片表观质量的影响，提高了硅片的良率。
主权项：1.一种外延机台的进气装置，所述外延机台包括基座，其特征在于，包括：基台，嵌于所述基座中；喷管，贯穿并固定于所述基台，所述喷管高出所述基台的上表面的部分为喷嘴，所述喷嘴的顶部为喷嘴口；隔热环，固定于所述基台的上表面，环绕所述喷嘴设置，所述隔热环与所述喷嘴之间具有间隙，所述隔热环与所述基座之间具有间隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海新傲科技股份有限公司 外延机台的进气装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号