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一种量程可调并兼具自传感功能的驻极体薄膜式偏转装置及方法 

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申请/专利权人:西安交通大学

摘要:一种量程可调并兼具自传感功能的驻极体薄膜式偏转装置及方法,该装置包括装置上盖,与装置上盖相连接的装置底壳,由上到下依次同轴设置在装置上盖与装置底壳内的上电极板、上间隙调整板、复合驻极体薄膜、下间隙调整板和下电极板。具有净电荷特性的复合驻极体薄膜则夹于装置上盖和装置底壳之间,共同作为驱动与传感元件。该装置结构简单紧凑,体积小,并同时兼具传感与作动功能,可以实现二维偏转角度的高精度输出。并可以通过调整上下电极板之间的距离或复合驻极体薄膜的预拉伸率使得该装置输出角度量程、固有频率、传感灵敏度、力‑电转换能力可调可控。

主权项:1.一种量程可调并兼具自传感功能的驻极体薄膜式偏转装置,其特征在于:包括装置上盖1,与装置上盖1相连接的装置底壳2,由上到下依次同轴设置在装置上盖1与装置底壳2内的上电极板3、上间隙调整板4、复合驻极体薄膜5、下间隙调整板6和下电极板7;其中上电极板3与上间隙调整板4嵌套在装置上盖1内;下间隙调整板6与下电极板7嵌套在装置底壳2内;复合驻极体薄膜5则夹于装置上盖1和装置底壳2之间,作为驱动与传感元件;传感信号采集装置8与上电极板3和下电极板7互相电气连接,输出相应的传感信号;并且传感信号采集装置8与控制器9相连接,当需要实时的作动信号时,控制器9在接收到传感信号采集装置8的实时传感信号后进行处理,控制同样与上电极板3和下电极板7相连接的功率放大器10完成控制作动信号的输出,此时作为驱动与传感元件的复合驻极体薄膜5在受到上电极板3和下电极板7之间的电势差,从而完成相应的偏摆作动。

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