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申请/专利权人：江苏集萃智能感知科技有限公司;中国科学院上海技术物理研究所
摘要：本发明属于微纳光学领域，具体涉及一种球面复制光栅及其复制方法。所述球面复制光栅包括光栅反射膜层、光栅结构层、光栅复制胶层、光栅基底；所述复制方法具体步骤包括光栅母版的制备、坚膜层镀膜、油层、复制胶涂覆、光栅母版与复制版对准、光栅母版与复制版分离系列步骤。本发明所提供的球面复制光栅具备抗高低温变化、抗辐照性能；所提供的球面光栅的复制方法对母版损伤小；通过高精密靶标可提高光栅复制的对准精度，保证了复制光栅的成品率。这些优势简化了球面光栅的制备流程，为球面闪耀光栅的批量化生产及应用提供了技术基础。
主权项：1.一种球面复制光栅，其特征在于，所述光栅包括光栅反射膜层、光栅结构层、光栅复制胶层、光栅基底；所述光栅反射膜层为厚度150nm-250nm的高反射率金属膜，所述光栅复制胶层为厚度3μm-4μm的固化剂与环氧树脂的混合胶体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏集萃智能感知科技有限公司 中国科学院上海技术物理研究所 一种球面复制光栅及其复制方法
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