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申请/专利权人：哈恩-席卡德应用研究学会
摘要：在第一方面中，本发明涉及一种用于对声学信号进行检测的MEMS麦克风。MEMS麦克风具有可振动的麦克风膜，该麦克风膜由穿过声音入口开口进入的声波引起振动。MEMS麦克风还具有包括测量梢端部的悬臂。悬臂由致动器主动引起振动，使得测量梢端部以无接触的振动的方式被引导至麦克风膜。在这种情况下，隧道电流在麦克风膜与测量梢端部之间流动，并且该隧道电流可以用于对麦克风膜的取决于声波的振动行为进行检测。电子电路被配置成对麦克风膜与测量梢端部之间的隧道电流进行测量。根据本发明的MEMS麦克风使得可以以高分辨率对特别低的声压级进行检测。在另外的方面中，本发明涉及一种用于使用根据本发明的MEMS麦克风对声学信号进行检测的方法。
主权项：1.一种用于对声学信号进行检测的MEMS麦克风1，所述MEMS麦克风1包括声音入口开口、可振动的麦克风膜3和电子电路，其中，通过所述声音入口开口进入的声波5引起可振动的所述麦克风膜3振动，其特征在于，所述MEMS麦克风1具有悬臂7和致动器，所述悬臂7包括测量梢端部9，所述电子电路被配置成用于对所述麦克风膜3与所述测量梢端部9之间的隧道电流进行测量并且用于主动引起所述悬臂7振动，其中，为了对声学信号进行检测，所述测量梢端部9以无接触振动的方式被引导至所述麦克风膜3，同时可测量的所述隧道电流允许对所述麦克风膜3的取决于所述声波5的振动行为进行检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈恩-席卡德应用研究学会 作为声学纳米力传感器的MEMS敲击模式悬臂
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