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申请/专利权人：苏州德龙激光股份有限公司
摘要：本发明涉及一种可取放多种规格晶圆的机构，包括晶圆机械手以及围绕在晶圆机械手外侧的第一晶圆盒、校准器、放置台和第二晶圆盒；快换手指组件从上往下依次包括五个支撑隔板，在相邻的两个支撑隔板之间构成快换手指存放空间，第一快换手指、第二快换手指、第三快换手指和第四快换手指从下往上依次放置在快换手指存放空间内。本发明通过对传统的晶圆取放进行优化升级，使原来的一个手指取一种规格晶圆升级为通过快换手指的方式自动对多种规格的晶圆进行取放，这不仅节省因频繁更换手指而造成的人工成本，而且提高了设备的稼动率，提高了设备产能。
主权项：1.一种可取放多种规格晶圆的机构，包括晶圆机械手1以及围绕在所述晶圆机械手1外侧的第一晶圆盒2、校准器3、放置台5和第二晶圆盒6；其特征在于：还包括快换手指组件4，所述快换手指组件4从上往下依次包括五个支撑隔板41，相邻的两个所述支撑隔板41之间通过四周的支撑杆42连接在一起，在相邻的两个所述支撑隔板41之间构成快换手指存放空间，第一快换手指7、第二快换手指8、第三快换手指9和第四快换手指10从下往上依次放置在所述快换手指存放空间内；所述第一快换手指7、第二快换手指8、第三快换手指9和第四快换手指10上的端部均通过快换接头组件11与晶圆机械手1相适配，所述快换接头组件11包括安装在第一快换手指7或第二快换手指8或第三快换手指9或第四快换手指10上端部的第一快换接头本体111以及安装在晶圆机械手1驱动端上的第二快换接头本体115；在所述第一快换接头本体111的对接部上设置有第一快换端面112，在所述第一快换端面112的中部位置开设有第一快换对插槽113，在所述第二快换接头本体115的对接部上设置有第二快换端面116，在所述第二快换端面116的中部位置设置有与上述的第一快换对插槽113相适配的第二快换凸台117，当所述第二快换凸台117插接入第一快换对插槽113后所述第一快换端面112与第二快换端面116两者真空吸附在一起。
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权利要求：
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