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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：一种采用铟纳米粒子局域表面等离激元共振提升金刚石紫外探测性能的方法，本发明的目的是为了提高金刚石紫外探测器光谱的响应率。提升金刚石紫外探测性能的方法：一、将本征单晶金刚石浸于混合酸中加热，得到带有氧终端的金刚石；二、样品清洗；三、采用磁控溅射法依次在清洗后的金刚石表面溅射钛层和金层，形成叉指电极，退火处理得到欧姆接触的金刚石；四、在欧姆接触的金刚石的表面设置阳极氧化铝掩膜，通过热蒸发铟在欧姆接触的金刚石表面镀制铟纳米岛。本发明采用铟纳米粒子局域表面等离激元共振增强金刚石紫外探测光谱响应率，拓展了增强金刚石紫外探测性能的途径，使金刚石紫外探测器更加接近行业认可的“5S”标准。
主权项：1.采用铟纳米粒子局域表面等离激元共振提升金刚石紫外探测性能的方法，其特征在于该提升金刚石紫外探测性能的方法按照以下步骤实现：一、酸煮样品：高压釜中装有混合酸，将本征单晶金刚石浸于混合酸中，以120℃~160℃高温加热2~4小时，得到带有氧终端的金刚石；二、样品清洗：依次采用丙酮、无水乙醇和去离子水对带有氧终端的金刚石进行超声清洗，得到清洗后的金刚石；三、欧姆接触电极制备：采用磁控溅射法依次在清洗后的金刚石表面溅射钛层和金层，形成叉指电极，溅射钛层的厚度为20nm，金层的厚度为30nm，然后在小于8×10−4Pa的真空度下，以400~600℃进行退火处理，得到欧姆接触的金刚石；四、金刚石表面铟纳米粒子制备：在欧姆接触的金刚石的表面设置阳极氧化铝掩膜，阳极氧化铝掩膜上开有通孔，通过热蒸发铟在欧姆接触的金刚石表面镀制铟纳米岛，铟纳米岛的直径为20~30nm，从而完成通过铟纳米粒子局域表面等离激元共振提升金刚石紫外探测性能；其中步骤三中叉指电极具有6~10指电极，指宽为100~150μm。
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百度查询： 哈尔滨工业大学 一种采用铟纳米粒子局域表面等离激元共振提升金刚石紫外探测性能的方法
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