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申请/专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要：一种点衍射干涉面形检测装置及检测方法，装置包括光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前产生单元、分束镜、被测镜、掩模板、精密调节台、探测器、数据处理单元组成。本发明具有干涉对比度可调节、不需要标准镜、可测量任意反射率透镜、相移单元在成像光路之外、可标定系统误差实现高精度测量的优点。
主权项：1.一种点衍射干涉面形检测装置，适用于球面镜的面形检测，包括：光传输模块，被配置为一路光程可调光路和另一光程固定光路；理想波前产生单元，用于接收所述光传输模块输出的两束光，并产生两束标准波前；其特征在于，还包括位于所述光程可调光路上的可补偿光程差的相移器、分束镜7、放置在精密调节台10上的掩模板9；所述两束标准波前透过分束镜7入射至待测球面镜8表面，经该待测球面镜表面反射后再次入射至所述分束镜7，经该分束镜7反射后，汇聚至掩模板9；通过调整所述精密调节台10，使所述两束标准波前均通过所述掩模板9的透光区域，相互重叠产生干涉，通过移动所述相移器，获取多幅干涉图，从而得到系统误差Ts；通过调整所述精密调节台10，使所述两束标准波前中一束通过所述掩模板9的透光区域，另一束光通过通过所述掩模板9的滤波圆孔中心，通过移动所述相移器，获取多幅干涉图，从而得到面形分布Tc；通过计算干涉仪系统误差Ts和面形分布Tc，即得到待测球面镜面形分布T。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种点衍射干涉面形检测装置及检测方法
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