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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：提供对基板高效地进行前置处理的预湿模块、脱气液循环系统和预湿方法。预湿模块200包括：脱气槽210，其收容脱气液；处理装置258，其包括喷嘴268，其对被处理面向上的基板的被处理面供给清洗液；基板保持架220，其具有配置于脱气槽与处理装置之间且保持第1基板的第1保持构件222和保持第2基板的第2保持构件224；以及驱动机构230，其使基板保持架旋转和升降，驱动机构230包括：旋转机构240，其使基板保持架在使第1基板的被处理面与脱气槽内的脱气液相向的第1状态和使第2基板的被处理面与脱气槽内的脱气液相向的第2状态之间旋转；和升降机构248，其使基板保持架升降。
主权项：1.一种预湿方法，其特征在于，包括：第1脱气步骤，在该步骤中，将第1基板配置于第1位置，使所述第1基板的被处理面向下而浸渍于脱气液而进行脱气处理；第1清洗步骤，在该步骤中，与所述第1脱气步骤的执行并行地，将第2基板配置于第2位置，在使所述第2基板的被处理面向上的状态下对所述第2基板的被处理面供给清洗液；旋转步骤，在该步骤中，在所述第1脱气步骤和所述第1清洗步骤之后，以将所述第2基板配置于所述第1位置的方式使所述第1基板和所述第2基板旋转；第2脱气步骤，在该步骤中，在所述旋转步骤之后，使所述第2基板的被处理面向下而浸渍于脱气液而进行脱气处理；以及第2清洗步骤，在该步骤中，与所述第2脱气步骤的执行并行地，在所述第2位置在使第3基板的被处理面向上的状态下对所述第3基板的被处理面供给清洗液。
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