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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：根据规程在框体内对基板进行处理时，控制部通过照相机取得调整完毕拍摄图像。异常检测部基于调整完毕拍摄图像检测对象构件的异常。由于针对与规程的工序相应的每个对象构件调整拍摄条件，因此调整完毕拍摄图像为能适合针对每个对象构件的异常的检测的图像。因此，无论规程的工序为何，皆能高精度地检测异常。
主权项：1.一种基板处理装置，用以对基板进行规定的处理，其中，具备：处理部，用以处理所述基板；拍摄部，用以拍摄构成所述处理部的构件中的属于异常的检测对象的对象构件，并能调整平移以及斜移的拍摄方向与变焦的拍摄倍率这样的拍摄条件，在所述平移中，将拍摄视野在水平方向上移动，在所述斜移中，将拍摄视野在铅垂方向上移动，在所述变焦中，将拍摄视野缩放；控制部，在所述处理部根据规定了基板的处理内容的规程进行处理时，针对与所述规程的工序相应的每个所述对象构件调整所述拍摄条件，使所述拍摄部进行拍摄并取得调整完毕拍摄图像；以及异常检测部，基于所述调整完毕拍摄图像来检测所述对象构件的异常。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法
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