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申请/专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
摘要：本申请提供了一种MEMS谐振式传感器，涉及传感器技术领域，该传感器包括：信号处理单元和数据处理单元，其中数据处理单元中包括第一模数转换器、第二模数转换器、第一数模转换器、第二数模转换器、鉴相器、环路滤波器和频率综合器，通过数据处理单元中的结构能够实现温度漂移的自补偿，有效解决了MEMS谐振式传感器温度漂移的问题。
主权项：1.一种MEMS谐振式传感器，其特征在于，所述传感器包括：信号处理单元和数据处理单元，所述数据处理单元中包括第一模数转换器、第二模数转换器、第一数模转换器、第二数模转换器、鉴相器、环路滤波器和频率综合器；所述频率综合器用于对接收到的所述第一模数转换器处理后的信号进行分频和调制，将处理后的信号分为两路，一路经过所述第二数模转换器后发送到所述信号处理单元中，另一路输入到所述鉴相器中；所述鉴相器用于接收所述第二模数转换器处理后的输出信号，以及所述频率综合器分频和处理后的信号；鉴相器对所述第二模数转换器处理后的输出信号和所述频率综合器分频和处理后的信号进行比较，输出相位差信号到所述环路滤波器；所述环路滤波器用于对接收到的相位差信号进行处理后，输入到所述第一数模转换器中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院空天信息创新研究院 一种MEMS谐振式传感器
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