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申请/专利权人：安捷利电子科技(苏州)有限公司
摘要：本发明涉及一种蚀刻均匀性检测与判断方法，包括步骤S1，选取符合条件的覆铜板作为待测板；步骤S2，前处理，对待测板进行前处理；步骤S3，图形转移步骤，在所述待测板贴附干膜，对待测板进行曝光以及显影，在待测板上形成抗蚀层图形；步骤S3，蚀刻，在指定的蚀刻参数下，将非线路图形蚀刻；步骤S4，去膜步骤，除去蚀刻后待测板上的干膜，留下的铜面形成线路图形；步骤S5，测量步骤，通过三维测量仪测量所述线路图形的线宽及线距。本发明提高了测量准确性和测量效率，通过图形设计与三维测量仪结合的方法，实现迅速判断蚀刻均匀性，并根据结果提供适当的调整建议，具有速度快、数据量大、偏差小的优点，能够真实反映出不同设计线宽的实际水平。
主权项：1.一种蚀刻均匀性检测与判断方法，其特征在于：包括：步骤S1，开料步骤，选取符合条件的覆铜板作为待测板；步骤S2，前处理步骤，对所述待测板进行前处理；步骤S3，图形转移步骤，在所述待测板贴附干膜，对所述待测板进行曝光以及显影，在所述待测板上形成抗蚀层图形；步骤S3，蚀刻步骤，在指定的蚀刻参数下，将非线路图形蚀刻；步骤S4，去膜步骤，除去蚀刻后所述待测板上的干膜，留下的铜面形成线路图形；步骤S5，测量步骤，通过三维测量仪测量所述线路图形的线宽及线距；步骤S6，数据收集与处理步骤，收集所述线宽线距的测量数据，对异常点筛选，计算不同Array内的不同设计unit的线宽线距，获得线宽分布图；步骤S7，分析与调整步骤，根据所述线宽分布图，对所述蚀刻步骤进行参数调整后，再次进行测试。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安捷利电子科技(苏州)有限公司 一种蚀刻均匀性检测与判断方法
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