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申请/专利权人：江苏鑫华半导体科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种高纯酸提纯装置的加热组件及高纯酸提纯装置，高纯酸提纯装置的加热组件包括：补液管路和加热结构；加热结构内形成有加热腔和位于加热腔上方的酸室，加热腔内设有加热件，加热腔的顶壁构造为拱形壁，拱形壁的顶部设有与酸室连通的供液口，补液管路与供液口连通，酸室内设有多个沿拱形壁的周向间隔开分布的挡板，挡板将酸室分隔为多个子流动腔，挡板与拱形壁之间形成有流动间隙，供液口处的酸液适于沿拱形壁从流动间隙依次流向多个子流动腔。本发明的高纯酸提纯装置的加热组件，从液面的下方加热，且将酸液形成薄膜液面进行加热，防止加热过程中表面酸液会向液相主体传热，提高酸液的汽化速度，实现酸液快速提纯。
主权项：1.一种高纯酸提纯装置的加热组件，其特征在于，包括：补液管路；加热结构，所述加热结构内形成有加热腔和位于所述加热腔上方的酸室，所述加热腔内设有加热件，所述加热腔的顶壁构造为拱形壁，所述拱形壁的顶部设有与所述酸室连通的供液口，所述补液管路与所述供液口连通，所述酸室内设有多个沿所述拱形壁的周向间隔开分布的挡板，所述挡板将所述酸室分隔为多个子流动腔，所述挡板与所述拱形壁之间形成有流动间隙，所述供液口处的酸液适于沿所述拱形壁从所述流动间隙依次流向多个所述子流动腔。
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权利要求：
百度查询： 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 高纯酸提纯装置的加热组件及高纯酸提纯装置
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