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申请/专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
摘要：本发明公开一种基于周期信号重建的半导体设备改造方法、装置及设备，该方法包括：对图像传感器在第一周期内的特征信号执行特征信号边沿捕捉，获取第一边沿信号及第二边沿信号，基于第一边沿信号触发第一电平计时,并基于第二边沿信号触发记录第一电平计时时长；在第二周期内执行输出信号重建，基于第一边沿信号将第二周期的输出信号置为第一电平，并启动计时，并基于计时时间将第二周期的输出信号置为第二电平；特征信号边沿捕捉与输出信号重建同步执行。本发明通过将前一周期的信号重建后在相邻的下一周期输出，将透明晶圆的定位采样信号滤波处理成常规晶圆对应的波形特征，使设备能够兼容透明晶圆使用场景，改造方案简单，成本低。
主权项：1.一种基于周期信号重建的半导体设备改造方法，所述半导体设备包括光源和图像传感器，其特征在于，所述周期包括按照时序先后相邻排列的第一周期和第二周期，所述方法包括：对所述图像传感器在所述第一周期内的特征信号执行特征信号边沿捕捉，获取所述特征信号的第一边沿信号及第二边沿信号，基于所述第一边沿信号触发第一电平计时,并基于所述第二边沿信号触发记录第一电平计时时长；其中，所述第一边沿信号与所述第二边沿信号的边沿走势相反；在所述第二周期内执行输出信号重建，基于所述第一边沿信号将所述第二周期的输出信号置为第一电平，并启动计时，并基于计时时间将所述第二周期的输出信号置为第二电平；所述特征信号边沿捕捉与所述输出信号重建同步执行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡卓海科技股份有限公司 基于周期信号重建的半导体设备改造方法、装置及设备
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