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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及一种大口径光学元件研磨加工阶段面形与亚表面缺陷的线扫描式快速干涉检测装置，涉及光学干涉测量技术领域。本发明的线扫描式快速干涉检测装置包括：光源、信号传输通道、样品臂、参考臂以及光谱探测器；样品臂中在光路方向上依次包括：色散元件，振镜系统以及远心扫描场镜；被测元件设置在靠近远心扫描场镜的位置；信号传输通道中设有分束镜。本发明的检测装置在完成大口径光学元件研磨阶段高精度面形检测的同时还能够实现被测元件面形、表面亚表面缺陷同步检测，以线扫描方式扩大了扫描视场，提高检测效率至少一倍，且只需要在样品臂增加一个色散元件，通过数据处理算法处理扫描线的并行数据，检测结果可以直观的高对比的图像展现。
主权项：1.一种大口径光学元件研磨加工阶段面形与亚表面缺陷的线扫描式快速干涉检测装置，其特征在于，该检测装置以线扫描方式代替传统点扫描方式，包括：光源、信号传输通道、含色散元件实现生成扫描线的样品臂、参考臂以及光谱探测器；样品臂中在光路方向上依次包括：色散元件，振镜系统以及远心扫描场镜；被测元件设置在靠近远心扫描场镜的位置；信号传输通道中设有分束镜；其中：光源输出的光束由分束镜分束后，分别到达参考臂及样品臂；进入样品臂的复色照明光经色散元件后产生单方向色散，不同频率的光波以不同偏角进入振镜系统；由振镜系统出射后，被远心扫描场镜汇聚向被测元件；不同频率的照明光辐照被测元件后，产生的后向散射光场原路返回，经远心扫描场镜和色散元件后合束为复色光束，作为样品臂光信号回到信号传输通道；信号传输通道中，样品臂光信号与参考臂回射的参考光信号发生干涉，干涉光谱信号由光谱探测器接收后，进行运算处理；经运算处理后，获得被测元件表面矢高变化信息以及被测元件表面至表面下方的断层层析图像；表面矢高变化信息将被用于表面面形拟合，实现对被测元件表面面形的检测；表面至表面下方的断层层析图像被用于亚表面缺陷分析，实现对被测元件亚表面缺陷的检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 大口径光学元件研磨加工阶段面形与亚表面缺陷的线扫描式快速干涉检测装置
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