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申请/专利权人：郑州大学
摘要：本发明公开了一种IZO陶瓷靶材及其制备方法。IZO陶瓷靶材的制备方法包括：将氧化铟粉末、氧化锌粉末和氧化锡粉末按照设定质量比在去离子水中混合均匀，得到固含量为30～60％的混合浆料；向混合浆料中加入分散剂，搅拌、研磨，然后再加入粘结剂，喷雾造粒形成IZO复合粉末；取设定量的IZO复合粉末与乙酸溶液混合，得到IZO复合浆料；将IZO复合浆料进行冷烧结，得到IZO坯体；将IZO坯体在无压氧气气氛下进行低温热处理，得到IZO陶瓷靶材。本发明实施例公开的制备方法，简化了制备工艺，能够在较低烧结温度和较低烧结时间下得到高致密度、细粒径、低电阻率的IZO陶瓷靶材，解决了氧化物烧结失氧的问题，得到的IZO陶瓷靶材成分均匀，不易开裂，具有良好的工业应用前景。
主权项：1.IZO陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，包括：将氧化铟粉末、氧化锌粉末和氧化锡粉末按照设定质量比在去离子水中混合均匀，得到固含量为30～60％的混合浆料；向混合浆料中加入分散剂，搅拌、研磨，然后再加入粘结剂，喷雾造粒形成IZO复合粉末；取设定量的IZO复合粉末与乙酸溶液混合，得到IZO复合浆料；将IZO复合浆料进行冷烧结，得到IZO坯体；将IZO坯体在无压氧气气氛下进行低温热处理，得到IZO陶瓷靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 郑州大学 IZO陶瓷靶材及其制备方法
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