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基于ITO-IZO薄膜热电偶的热障涂层隔热效果试验方法 

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申请/专利权人:中国航发北京航空材料研究院

摘要:本发明提供基于ITO-IZO薄膜热电偶的热障涂层隔热效果试验方法,包括如下步骤:制备绝缘层、制备下层薄膜热电偶、制备热障涂层、制备上层薄膜热电偶、热障涂层隔热效果试验。本发明通过在涡轮叶片表面制备双层ITO-IZO薄膜热电偶实现1300℃以下流场环境下热障涂层的评价。

主权项:1.基于ITO-IZO薄膜热电偶的热障涂层隔热效果试验方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、制备绝缘层;涡轮叶片表面通过磁控溅射工艺制备第一多界面氧化铝层,作为涡轮叶片表面与下层薄膜热电偶之间的绝缘层;步骤2、制备下层薄膜热电偶;在第一多界面氧化铝层上通过磁控溅射沉积下层薄膜热电偶,用于对测量涡轮叶片表面与热障涂层之间的温度;在薄膜热电偶上通过磁控溅射沉积第二多界面氧化铝层,作为薄膜热电偶与热障涂层之间的绝缘层;步骤3、制备热障涂层;在第二多界面氧化铝层上制备热障涂层,在热障涂层上制备第三多界面氧化铝层,作为上层薄膜热电偶与热障涂层之间的绝缘层;所述热障涂层的制备方法为磁控溅射喷涂。所述热障涂层材料为钇稳定的氧化锆YSZ。步骤4、制备上层薄膜热电偶;在第三多界面氧化铝层上通过磁控溅射沉积上层薄膜热电偶,用于对测量热障涂层表面的温度;在上层薄膜热电偶上通过磁控溅射沉积第四多界面氧化铝层;所述下层薄膜热电偶的热电臂与上层薄膜热电偶的热电臂在热障涂层上的投影仅在交点位置重合;下层薄膜热电偶和上层薄膜热电偶均为ITO-IZO薄膜热电偶;步骤5、热障涂层隔热效果试验用高温燃气冲刷涡轮叶片表面,并且同时对涡轮叶片内通入冷却气体;实时监测收集所述下层薄膜热电偶和上层薄膜热电偶测量的温度数据;对比所述下层薄膜热电偶和上层薄膜热电偶给出的温度值得到差值,通过差值来评价所述涡轮叶片的热障涂层隔热效果。

全文数据:

权利要求:

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