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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明公开了一种Ag基透明复合电极及其制备方法、高热稳定性的Ag基透明薄膜加热器，属于柔性透明加热器技术领域。Ag基透明复合电极包括自下至上设置的SiOx层、Ga‑Ag种子层、Ag层和氧化物层。其中，Ga‑Ag种子层为磁控溅射沉积的Ga:Ag＝2.8:1的Ga‑Ag合金薄膜。本发明巧妙地将液态金属Ga涂覆在Ag片表面，将其固定在Ag靶位置处的靶材表面，获得Ga‑Ag合金靶，溅射所得的Ga‑Ag种子层降低了Ag薄膜达到连续的阈值厚度，减小了光子、电子损耗，提高了加热器的光学透过率与电导率；同时，Ga也有效抑制了Ag原子迁移、团聚，提高了器件的热稳定性能。
主权项：1.一种Ag基透明复合电极，其特征在于，包括自下至上依次设置的SiOx薄膜层、Ga-Ag种子层、Ag薄膜层以及氧化物层；所述Ga-Ag种子层中原子含量为Ga:Ag＝0.1～14:1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 Ag基透明复合电极及其制备方法、高热稳定性的Ag基透明薄膜加热器
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