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申请/专利权人：昆山协鑫光电材料有限公司
摘要：本发明公开了一种用于空间原子层沉积的样品台及空间原子层沉积系统。其中，用于空间原子层沉积的样品台包括样品台本体，样品台本体的顶面上形成有样品槽，样品槽的槽壁上沿轴向依次形成有多个环形台阶，多个所述环形台阶同轴设置，并且多个环形台阶的直径沿远离样品台本体顶面的方向依次减小，每一所述环形台阶用于承载相应直径的基板，当将每一所述基板放置在相应一环形台阶的台阶面上时，所述基板的顶面均平行于一基准面且与所述基准面的距离为相应一预设值，所述基准面为与所述样品台配合的空间原子层沉积设备的喷射器的喷口所在平面。通过改变基板尺寸，从而调节喷射器与基板之间的间距，可以解决操作繁杂、校准困难的技术问题。
主权项：1.一种用于空间原子层沉积的样品台，包括样品台本体，所述样品台本体的顶面上形成有样品槽，其特征在于：所述样品槽的槽壁上沿轴向依次形成有多个环形台阶，多个所述环形台阶同轴设置，并且多个所述环形台阶的直径沿远离所述样品台本体顶面的方向依次减小，每一所述环形台阶用于承载相应直径的基板；当将每一所述基板放置在相应一环形台阶的台阶面上时，所述基板的顶面均平行于一基准面且与所述基准面的距离为相应一预设值，所述基准面为与所述样品台配合的空间原子层沉积设备的喷射器的喷口所在平面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昆山协鑫光电材料有限公司 用于空间原子层沉积的样品台及空间原子层沉积系统
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