龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：杭州镓仁半导体有限公司
摘要：本发明提供了一种氧化镓单晶衬底抛光片的划片保护层结构及其划片方法，属于氧化镓单晶衬底抛光片加工技术领域。本发明的划片保护层结构由下到上依次包括层叠设置的斜坡夹具、载台、第二软质保护层、氧化镓晶片、第一软质保护层和硬质保护层，所述斜坡夹具保证沿氧化镓晶片010晶面方向的切割道呈斜坡角度切割。本发明中，第一软质保护层和第二软质保护层的作用是避免抛光晶片的表面免受硬物划伤和冷却介质污染，硬质保护层的作用是抵消一部分划片过程中砂轮对100易解理晶面的法向作用力；斜坡夹具会进一步分解砂轮施加给100晶面的法向作用力，从而减少切割道周边晶片解理、崩裂和微裂纹等缺陷的产生。本发明的划片方法切割速度快，可以实现抛光晶片直接进行划片，且不产生晶片表面的划伤和污染等缺陷。
主权项：1.一种氧化镓单晶衬底抛光片的划片保护层结构，其特征在于，由下到上依次包括层叠设置的斜坡夹具、载台、第二软质保护层、氧化镓晶片、第一软质保护层和硬质保护层，所述斜坡夹具保证沿氧化镓晶片010晶面方向的切割道呈斜坡角度切割，所述载台、第二软质保护层、氧化镓晶片、第一软质保护层和硬质保护层与所述斜坡夹具的上表面平行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州镓仁半导体有限公司 一种氧化镓单晶衬底抛光片的划片保护层结构及其划片方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号