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高精度力控ZR轴模组 

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申请/专利权人:德瑞精工(深圳)有限公司

摘要:本发明实施例公开了一种高精度力控ZR轴模组,包括Z轴电机、R轴电机、滑动板、进气接头、气管、压力传感器、固定弯管、电机连接座、转接竖管、转接头、转接横管,R轴电机装于电机连接座上,电机连接座通过压力传感器连接滑动板,转接头设于电机连接座上,固定弯管固设于滑动板上,气管另一端连通固定弯管上端,固定弯管下端连接转接横管一端,转接横管另一端连接转接头,R轴电机的主轴末端连接转接竖管,电机连接座上设有气道,转接竖管通过气道连通转接头。本发明减小了外界力对压力传感器所检测压力的影响,避免了活动气管直接作用在旋转电机或者间接作用在压力传感器上,减小了误差,提高了压力闭环的精度。

主权项:1.一种高精度力控ZR轴模组,包括Z轴电机、R轴电机、滑动板、进气接头、气管,滑动板连接Z轴电机的动子,气管一端连接进气接头,R轴电机的主轴中空,其特征在于,所述ZR轴模组还包括压力传感器、固定弯管、电机连接座、转接竖管、转接头、转接横管,R轴电机装于电机连接座上,电机连接座通过压力传感器连接滑动板,转接头设于电机连接座上,固定弯管固设于滑动板上,气管另一端连通固定弯管上端,固定弯管下端连接转接横管一端,转接横管另一端连接转接头,R轴电机的主轴末端连接转接竖管,电机连接座上设有气道,转接竖管通过气道连通转接头。

全文数据:

权利要求:

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