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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明提供一种清洗力高的基板清洗装置和基板清洗部件，所述基板清洗装置具备：基板保持旋转机构，该基板保持旋转机构对基板进行保持并使其旋转；以及辊型的第一清洗部件，该第一清洗部件通过一边与所述基板的第一面的斜端及或边缘接触一边旋转来对所述第一面进行清洗，所述第一清洗部件的旋转轴与所述基板平行，所述第一清洗部件具有大径部及小径部。
主权项：1.一种基板清洗装置，其特征在于，具备：基板支承机构，该基板支承机构对基板进行支承；辊型的第一清洗部件，该第一清洗部件通过一边与所述基板的第一面的斜端及或边缘接触一边旋转来对所述第一面进行清洗；以及辊型的第二清洗部件，该第二清洗部件与所述第一清洗部件相对配置，并且通过一边与所述基板的第二面的斜端及或边缘接触一边旋转来对所述第二面进行清洗，所述第一清洗部件的旋转轴与所述基板平行且与从所述基板的中心出发的半径方向垂直，是基板的旋转方向的切线方向，所述第一清洗部件的旋转方向是在与所述基板接触的位置从所述基板的中心朝向边缘的方向，所述第二清洗部件的旋转轴与所述基板平行且与从所述基板的中心出发的半径方向垂直，是基板的旋转方向的切线方向，所述第二清洗部件的旋转方向是在与所述基板接触的位置从所述基板的中心朝向边缘的方向，所述第一清洗部件和所述第二清洗部件分别具有多个大径部及小径部，且大径部与小径部沿着所述第一清洗部件和所述第二清洗部件的长度方向交错配置，通过交错配置所述大径部与所述小径部而在周向上形成多个槽，各槽通过所述大径部而与相邻的槽隔开并成为独立的形状，所述第二清洗部件的小径部位于与所述第一清洗部件的大径部相对的位置，并且所述第二清洗部件的大径部位于与所述第一清洗部件的小径部相对的位置，所述第一清洗部件与所述第二清洗部件彼此不接触地旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 基板清洗部件及基板清洗装置
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